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中圖儀器臺(tái)階儀器臺(tái)階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級，且垂直方向動(dòng)態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。

?CEM3000中圖儀器國產(chǎn)電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。憑借空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

SuperViewW1白光干涉光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

中圖儀器的CEM3000臺(tái)式SEM掃描電鏡的框架尺寸還有所縮小，具有更高的易用性，要堅(jiān)固耐用得多。它具有高度的靈活性和豐富的功能，包括多種檢測器、附件，可以滿足廣泛的研究和工業(yè)需求，包括半導(dǎo)體芯片失效分析。無論樣品尺寸、重量、導(dǎo)電性如何，掃描電鏡都可以讓您輕松應(yīng)對挑戰(zhàn)，獲得出色的SEM圖像和SEM分析結(jié)果。

中圖臺(tái)階儀廠家采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

SuperViewW納米級光學(xué)輪廓白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。