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除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，光學表面輪廓儀品牌SuperViewW1具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1國產光學輪廓儀品牌測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SJ5800國產粗糙度輪廓儀品牌可對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數、微觀輪廓度參數的測量。同時儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進行測量，對形狀參數進行分析。

SJ5700S大量程輪廓儀集成表面粗糙度和輪廓測量，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設定掃描的開始、結束位置，點擊開始按鈕，測針會自動接觸工件表面，并按設定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價參數即可進行評價。

SJ5800國內表面粗糙度輪廓儀為大曲面粗糙度輪廓參數測量提供了新的解決方案。該儀器具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm，因此非常適合測量大曲面高精密零部件的輪廓參數測量，同時具備球面、弧面、非球面輪廓參數評價功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業的測量需求。

SuperViewW1白光干涉光學3D表面輪廓儀可對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，主要對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。