白光干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。

　　白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(~10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無f比擬的。

　　白光干涉儀的性能優勢：

　　1、高精度、高重復性

　　3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統，保證了測量精度和測量重復性。

　　2、一體化操作的測量分析軟件

　　測量數據自動統計，可視化窗口，結合自定義分析模板的自動化測量功能，實現了快速批量測量的功能，自動完成多區域的測量與分析過程。

　　3、精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

　　4、雙重防撞保護措施

　?。?）軟件防撞保護ZSTOP

　　即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

　?。?）Z軸硬件防撞傳感器

　　在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。